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INFICON UL1000 Fab 氦氣檢漏儀是工業或半導體環境中經濟型氦氣真空泄漏檢測的標準。
通過儀器的干式泵技術,可以消除被測部件或設備被碳氫化合物或顆粒污染的可能性。UL1000 FAB在高性能、超高穩健性和經濟性之間提供了最佳的性價比。它提供 10-12 mbar·l/s 檢測,具備合理的短抽氣時間和響應時間的特點。緊湊的設計提供了高度的機動性,方便進入空間有限的維修區域。可選的背景本底抑制(iZERO)功能能夠在2秒內實現低于現有背景本底水平狀態持續進行泄漏測試。
所有特性都使您能夠縮短泄漏測試工作的時間,同時確保可以經濟實惠地檢測出所有泄漏。
產品特點:
通過縮短抽氣時間和響應時間加快泄漏檢測工作
通過使用可選的背景抑制(Izero),避免需要進行多次泄漏測試。
通過緊湊的設計方便進入空間有限的維護區域
通過耐用的兩個熱絲離子源(三年保修)和逆流式真空系統實現低擁有成本 (TCO)
通過可旋轉顯示、聲音和燈光泄漏提示以及可選的遠程控制降低應用難度
通過內置泄漏測試和自動校準程序實現低成本維護
產品應用:
對清潔度要求嚴苛的工業真空設備制造
在將真空組件或子組件安裝到現有工具中之前
真空工具的維護工作,無論是否有泵的支持
工藝氣體系統的檢查和安裝
半導體、平板顯示器或太陽能電池制造
UL1000 Fab 氦氣檢漏儀產品規格:
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